플라즈마 챔버 RF 센서 측정 시스템

플라즈마 챔버 RF 센서가 챔버에 연결된 픽업장치로 부터 전압(V)과 전류(I)를 수집하여 챔버로 입력되는 RF의 신호의 품질과 특성을 측정한다.

특징

• 사용자가 선택한 주파수를 기준으로 전압, 전류, 위상 등을 측정
• 측정된 데이터를 화면에 표시하거나 내부 저장소에 저장
• 선택된 주파수의 전압 레벨, 전류 레벨, 위상의 경향을 측정/표시/저장
• 측정 중인 주파수 중 하나의 주파수를 선택 하여 더욱 상세히 분석하여 펄스의 다양한 특성 등을 측정/표시/저장